Предисловие ..........................................................................З
Глава 1. ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ РАБОТЫ ЛАВИННО-ПРОЛЕТНЫХ ДИОДОВ .............................. 6
1.1. Основные типы лавинно-пролетных диодов и режимы их работы...................... 6
1.2. Лавинное умножение, лавинный пробой и
лавинный прокол ..............................................15
1.3. Статистические характеристики лавинного
процесса............................................................ 20
1.4. Динамические характеристики ТМРАТТ-диодов ................................................. 23
1.5. Шумы ЛПД.........................................................34
Глава 2. СТРУКТУРЫ ЛАВИННО-ПРОЛЕТНЫХ ДИОДОВ И ИХ ПАРАМЕТРЫ ...................................... 38
2.1. Структуры германиевых ЛПД ...........................38
2.2. Структуры кремниевых ЛПД .......................... 42
2.3. Структуры арсенид-галлиевых ЛПД .............. 47
2.4. Структуры ЛПД на фосфиде индия и гетероструктуры................................................. 54
Глава 3. КОНСТРУКЦИИ И ТЕХНОЛОГИЯ КРЕМНИЕВЫХ ЛАВИННО-ПРОЛЕТНЫХ ДИОДОВ....................................... 59
3.1. Теплоотводы кремниевых ЛПД ...................... 59
3.2. Технология формирования активных
слоев................................................................... 63
3.3. Контактно-металлизационные системы кремниевых ЛПД ............................................. 72
3.4. Сборочные операции в производстве кремниевых ЛПД ............................................. 77
3.5. Конструкции и корпуса ЛПД ......................... 83
3.6. Планарные конструкции ЛПД и их технология ......................................................... 87
3.7. Кремниевые ЛПД с развитой
периферией ....................................................... 93
Глава 4. КОНСТРУКЦИИ И ТЕХНОЛОГИЯ АРСЕНИД-ГАЛЛИЕВЫХ ЛПД...................................... 99
4.1. Создание многослойных активных структур
на арсениде галлия ......................................... 99
4.2. Промышленная технология
арсенид-галлиевых ЛПД ............................... 105
Глава 5. ИЗМЕРЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ И ОБЕСПЕЧЕНИЕ
КАЧЕСТВА И НАДЕЖНОСТИ ЛПД........................... 109
5.1. Измерение параметров ЛПД .......................... 109
5.2. Система обеспечения качества и надежности
кремниевых ЛПД ........................................... 119
5.3. Надежность арсенид-галлиевых ЛПД ........... 131
Глава 6. КОНСТРУИРОВАНИЕ СВЧ АППАРАТУРЫ НА ОСНОВЕ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ЛАВИННО-ПРОЛЕТНЫХ ДИОДОВ ....................... 135
6.1. Общие проблемы использования ЛПД
в СВЧ-аппаратуре .......................................... 135
6.2. Вопросы проектирования усилителей и
генераторов на ЛПД ...................................... 139
6.3. Системы сложения мощностей ЛПД в
генераторах и усилителях .............................. 143
6.4. Пути создания мощных импульсных ГЛПД
миллиметрового диапазона длин волн ........ 151
6.5. Монолитные арсенид-галлиевые ЛПД-схемы  154
Глава 7. ПРИМЕНЕНИЯ ЛПД...................................... 157
7.1. ЛПД в системах спутниковой связи.............. 157
7.2. Радиолокационные системы .......................... 159
7.3. Устройства самонаведения ............................. 160
7.4. Системы радиосвязи, радиорелейные линии и
ретрансляторы ................................................ 161
7.5. Технологические радиолокационные системы миллиметрового диапазона.............................. 164
7.6. Использование лавинно-пролетных диодов
в медицинской электронике ......................... 169
ПРИЛОЖЕНИЯ ...............................................................173
Список литературы................................................. 186