 |
Облако тегов |
 |
 |
Circuit Cellar, Electronics, Elektor, Everyday Practical Electronics, Nuts and Volts, Антенны, аудио, Журнал, Измерения, источники питания, Микросхемы, приборы, Радіоаматор, Радио, Радио (жур.), Радиоаматор, Радиоконструктор, Радиолюбитель, радиолюбителю, Радиолюбителям, Радиомир, Радиоприем, радиоприемник, радиосвязь, радиоэлектроника, ремонт, Ремонт и Сервис, Связь, Серия Ремонт, справочник, схема, Схемотехника, Схемы, Телевидение, Телевизоры, трансформаторы, усилитель, Электрик, Электроника, Электротехника
Показать все теги
|
 |
 |
 |
 |
|
Авторские права | |
|
Все книги на сайте представлены исключительно в ознакомительных целях!
Авторам, желающим внести поправки, просим связаться с администрацией.
Администрация
|
|
|
|
|
|
 |
 |
Книги » Электроника: Обработка полупроводниковых материалов
|
 |
|
 Просмотров: 458 добавил: MIHAIL62 14-01-2015, 06:32
|
|
Название: Обработка полупроводниковых материалов
Автор: Запорожский В.П., Лапшинов Б.А.
Издательство: Высшая школа
Год: 1988
Страниц: 184
Язык: Русский
|
|
Современные полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы представляют собой чрезвычайно сложные устройства, отдельные компоненты которых имеют размеры не более доли микрометра. Изготовление таких устройств осуществляется на монокристаллических полупроводниковых пластинах с использованием фотолитографии.
Полупроводниковые пластины, предназначенные для формирования изделий микроэлектроники, характеризуются совершенной атомной структурой и высокой геометрической точностью. Для обеспечения этих качеств разработана оригинальная технология механической, химической и химико-механической обработки монокристаллических материалов, создано прецизионное оборудование, зачастую не имеющее аналогов в других отраслях народного хозяйства. Обработка полупроводниковых пластин требует высокой квалификации операторов и обслуживающего персонала, неукоснительного соблюдения технологической дисциплины и обязательного поддержания особой чистоты применяемых материалов и вакуумной гигиены в производственных помещениях.
Фотолитографические процессы — важнейшая составная часть технологии изготовления микроэлектронных приборов. Именно они обеспечивают формирование элементов структур с субмикронными размерами и хорошую их воспроизводимость. На современном оборудовании достигается разрешающая способность, позволяющая получать несколько тысяч линий на миллиметр. Необходимым условием качественной фотолитографии является наличие бездефектных высокоточных фотошаблонов.
Настоящее учебное пособие дает возможность в систематизированном виде ознакомиться с основными операциями изготовления полупроводниковых пластин и их фотолитографической обработки, а также изготовления всех видов используемых на производстве фотошаблонов.
Ключевые теги: Обработка
|
|
|
Содержание Оглавление
|
|
|
|
|
|
|
|
Другие новости по теме:
|
|
|
|
|
 |
|
 |
|
 |
Информация |
 |
|
 |
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации. |
|
|
|
|
|
|
|
