Книга "МЭМС: Фундаментальные технологии и применение" объединяет новаторские исследования в области технологии микроэлектромеханических систем и исследует разнообразный набор новых применений, которые поддерживает эта технология. В книге представлены материалы ведущих экспертов из промышленности и академических кругов со всего мира. Авторы объясняют теоретическую основу и предоставляют практические идеи применения технологии. От исторической эволюции наномикросистем до последних тенденций, они вникают в темы, в том числе:

 • Thin-film integrated passives as an alternative to discrete passives
 • The possibility of piezoelectric MEMS
 • Solutions for MEMS gyroscopes
 • Advanced interconnect technologies
 • Ambient energy harvesting
 • Bulk acoustic wave resonators
 • Ultrasonic receiver arrays using MEMS sensors

 • Optical MEMS-based spectrometers
 • The integration of MEMS resonators with conventional circuitry
 • A wearable inertial and magnetic MEMS sensor assembly to estimate rigid body movement patterns
 • Wireless microactuators to enable implantable MEMS devices for drug delivery
 • MEMS technologies for tactile sensing and actuation in robotics
 • MEMS-based micro hot-plate devices
 • Inertial measurement units with integrated wireless circuitry to enable convenient, continuous monitoring
 • Sensors using passive acousto-electric devices in wired and wireless systems