Учебное пособие предназначено для студентов, специализирующихся по электронике и автоматике физических установок, также  может быть полезно специалистам, работающим в области физического эксперимента.

 ОГЛАВЛЕНИЕ
Предисловие…………………………………………………………....5
1. Основные понятия и определения………………………………....6
2. Физические основы работы датчиков……………………………12
2.1. Генераторные датчики………………………………………..12
2.2. Параметрические датчики…………………………………. . 15
2.3. Источники погрешностей параметрических
преобразователей……………….………….…………………17
2.3.1. Резистивные преобразователи………………………...17
2.3.2. Емкостные датчики…………………………………….26
2.3.3. Индуктивные датчики………………………………….30
3. Датчики температуры……………………………………………..35
3.1. Шкалы температур …………………………………………...35
3.2. Термоэлектрические преобразователи………………………38
3.3. Металлические термометры сопротивления
(терморезисторы)……………………………………...………46
3.4. Полупроводниковые термодатчики………………………….48
3.5. Измерение температуры по тепловому шуму………………53
3.6. Диэлектрические измерители температур…………………..54
3.7. Кварцевый термометр………………………………………...56
3.8. Радиационные термометры…………………………………..59
3.9. Термометры, использующие эффект расширения
материалов…………………………………………………….60
4. Датчики механических величин………………………………….64
4.1. Датчики линейных и угловых перемещений...……………...64
4.2. Датчики деформаций…………………………………………77
4.3. Тахометрические датчики……………………………………91
5. Датчики гидро-пневмостатических величин…………………...105
5.1. Расходомеры с сужающими устройствами………………...105
5.2. Турбинные и вихревые расходомеры………………………108
5.3. Электромагнитные расходомеры…………………………...110
5.4. Тепловые измерители скорости и расхода…………………112
5.5. Чашечные и крыльчатые анемометры (вертушки)………..116
5.6. Лазерные и ультразвуковые анемометры………………….118
5.7. Измерение расхода с помощью радиоактивных добавок…120
5.8. Измеритель массового расхода, использующий силу
Кориолиса………………………………………...…………121
3
6. Датчики давления……………………………………………….. 124
6.1. Тензометрический метод……………………………………126
6.2. Пьезорезистивный метод……………………………………127
6.3. Емкостной метод…………………………………………….129
6.4. Резонансный метод…..……………………………………...130
6.5. Индуктивный метод…...…………………………………….131
6.6. Ионизационный метод...…………………………………….132
6.7. Заключение………...………………………………………..132
7. Датчики влажности………………………………………………136
8. Детекторы ядерного излучения…………………………………141
8.1. Виды ядерного излучения ……………………….…………141
8.2. Детекторы на основе ионизации газов……………………..143
8.3. Сцинтилляционные детекторы……………………………..147
8.4. Полупроводниковые детекторы……………………………148
9. Оптические датчики……...……………………………………..151
9.1. Фотометрия………………………………………………….151
9.2. Фоторезисторы………………………………………………153
9.3. Фотодиоды…………………………………………………...155
9.4. Лавинные фотодиоды……………………………………….158
9.5. Фототранзисторы……………………………………………159
9.6. Фотоэмиссионные датчики…………………………………160
9.6.1. Вакуумный фотоэлемент……………………………..160
9.6.2. Газонаполненные фотоэлементы…………………….161
9.6.3. Фотоэлектронные умножители………………………163
Список литературы…………………………………………………165
Приложение 1. Некоторые термины и определения к ним из
области метрологии (в соответствии с РМГ 29-99)………………....167
4